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三維形貌儀通過(guò)集成一對(duì)單點(diǎn)，非接觸式，納米分辨率的彩色共聚焦傳感器與高速，納米編碼的X/Y/Z協(xié)調(diào)運(yùn)動(dòng)，QuickPRO-CUBE™捕獲同步的前，后和基準(zhǔn)表面3D點(diǎn)云地形，用于托盤(pán)中的單鏡頭或微鏡頭的幾何表征。

專(zhuān)為測(cè)量旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)樣品的表面形貌和透明薄膜的厚度而設(shè)計(jì)，如金剛石車(chē)削光學(xué)表面和模塑或拋光的非球面透鏡

適用于光學(xué)、工業(yè)和半導(dǎo)體市場(chǎng)的高速、中精度、經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的表面輪廓儀，納米分辨率彩色共聚焦傳感器（可配制點(diǎn)和線傳感器），為在線過(guò)程測(cè)量和控制而設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊，易于上下片和操作，可配制成獨(dú)立系統(tǒng)（X/Y/Z） 和附加升級(jí)至LAS （C/R/Z），多種樣品處理能力

QuickOCT-4D™ 將單點(diǎn)可見(jiàn)光光譜域光學(xué)相干斷層掃描 （SD-OCT） 傳感器與高速納米編碼的 X/Y/Z 運(yùn)動(dòng)控制平臺(tái)相結(jié)合，可以在高達(dá) 66 kHz 的單次測(cè)量中捕獲透明薄膜樣品中每層的平面。QuickOCT-4D™ 穿透深度（高達(dá) 100μm）和軸向分辨率 （5nm） 針對(duì)半導(dǎo)體、生命科學(xué)和制藥行業(yè)的多層透明薄膜、平面基板和功能層的測(cè)量進(jìn)行了優(yōu)化。