光學輪廓儀-岱美百科

更新時間：2023-03-16 | 點擊率：2001

　　光學輪廓儀是一種全自動測量設備。操作員只需安裝被測工件，在驗證軟件上設置掃描的開始和結束位置，點擊“開始”按鈕，測量針就會自動接觸工件表面并根據(jù)設置的位置進行掃描；在輪廓掃描過程中，軟件界面會實時繪制輪廓曲線；掃描后，操作員可以通過輪廓分析工具分析生成的輪廓曲線，以獲得直線度、圓度、角度、距離、間距等輪廓參數(shù)。

　　光學輪廓儀應該怎么用

　　輪廓儀建立在移相干涉測量(PSI)、白光垂直掃描干涉測量(VSI)和單色光垂直掃描干涉測量(CSI)等技術的基礎上，以其納米級測量準確度和重復性(穩(wěn)定性)定量地反映出被測件的表面粗糙度、表面輪廓、臺階高度、關鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術、材料、太陽能電池技術等領域。

　　輪廓儀的優(yōu)勢：

　　1、美國硅谷研發(fā)的合心技術和系統(tǒng)軟件；

　　2、關鍵硬件采用美國、德國、日本等品牌；

　　3、PI納米移動平臺及控制系統(tǒng)；

　　4、Nikon干涉物鏡；

　　5、NI信號控制板和Labview64 控制軟件；

　　6、TMC光學隔振臺；

　　7、測量準確度重復性達到先進水平。

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